移相式数字波面干涉仪中的几个技术问题

被引：6

作者：

于瀛洁

韦春龙

陈明仪

机构：

[1] 上海大学精密机械工程系

来源：

光学精密工程 | 2001年 / 06期

关键词：

波面干涉仪; 移相值标定; 相位解调; 误差处理;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744.3 [];

学科分类号：

摘要：

光学件波面测量在光学加工业中有着大量的需求 ,近年来相关测量技术发展非常迅速 ,其中移相技术是较典型的代表 ,发展日趋成熟并得到了广泛应用。以PG 15型平面干涉仪为硬件基础 ,采用移相技术 ,解决了其中移相值标定、相位解调、误差处理中的难点 ,研制了数字波面干涉仪。对干涉仪中的这几个关键技术问题进行了讨论 ,并给出了相应的解决方法

引用

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