圆形域干涉图中的相位解包裹

被引:5
作者
李国栋
韦春龙
于瀛洁
程维明
陈明仪
不详
机构
[1] 上海大学嘉定校区精密机械工程系!上海
[2] 上海大学嘉定校区通信工程系!上海
[3] 上海大学嘉定校区精密机械工程系!上海
关键词
相位解包裹; 加权迭代; 干涉术;
D O I
暂无
中图分类号
O437 [非线性光学(强光与物质的作用)];
学科分类号
摘要
相位解包裹问题是许多干涉术中存在的基本问题。运用 DCT方法的解包裹算法是十分有效、健壮的 ,然而仅适用于方形域条纹图处理。本文引入加权迭代方法将其有效地运用于常见的圆形域干涉图的处理。模拟结果表明 ,加权迭代法的计算精度可达 1 0 - 7rad,相对于普通的 DCT解包裹算法有非常大的提高。我们在自行研制的 DOP-2 0 0 0型数字光学轮廓仪上 ,运用相移干涉术对一多刻线样板进行了测量 ,实验结果进一步表明 ,本文的加权迭代法是一种非常有效和实用的方法。
引用
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页数:5
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共 1 条
[1]   数字光学轮廓仪中相位去包裹算法研究 [J].
曹原 ;
韦春龙 ;
程维明 ;
陈明仪 ;
不详 .
光学精密工程 , 1999, (05) :100-105