数字光学轮廓仪中相位去包裹算法研究

被引：4

作者：

曹原

韦春龙

程维明

陈明仪

不详

机构：

[1] 上海大学精密机械工程系!上海嘉定

[2] 上海大学精密机械工程系!上海嘉定

来源：

关键词：

数字光学轮廓仪; 相位去包裹; 最小二乘算法;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

相位扫描干涉度量术的广泛应用推动了去包裹算法的发展。在多种算法中，用于数字光学轮廓仪的相位去包裹算法必须具有较高的普遍适用性，而且必须兼顾健壮性与效率。本文对传统算法和最小二乘算法这两种典型去包裹算法进行了比较研究，并在自行研制的数字光学轮廓仪上进行了验证。

引用

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