位置敏感探测器受杂光干扰特性的研究

被引：15

作者：

范志刚

张凤生

左保军

何瑾

机构：

[1] 哈尔滨工业大学电子科学与技术系,哈尔滨工业大学电子科学与技术系,哈尔滨工业大学电子科学与技术系,哈尔滨工业大学电子科学与技术系哈尔滨,哈尔滨,哈尔滨,哈尔滨

来源：

激光技术 | 2004年 / 04期

关键词：

位置敏感探测器; 抗干扰; 杂光; 半导体;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN249 [激光的应用];

学科分类号：

080904 [电磁场与微波技术];

摘要：

介绍了位置敏感探测器 (PSD)的结构、工作原理及在稳定背景杂散光干扰下的位置输出方程 ,同时介绍了消除稳定背景杂散光的方法、措施和实验结果。结果表明 ,线位移测量分辨力可达到 2 μm

引用

页码：442 / 444

页数：3

共 4 条

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