光电位置传感器PSD特性及其应用

被引：108

作者：

曾超

李锋

徐向东

机构：

[1] 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室

[2] 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室杭州

[3] 杭州

来源：

光学仪器 | 2002年 / Z1期

关键词：

位置传感器; 光电器件;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212.14 [];

学科分类号：

摘要：

对光电位置传感器 PSD的结构、工作原理、特性进行了分析和概述 ;并介绍了PSD在二维定位测量中的应用 ;最后分析了造成系统误差的主要原因

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共 2 条

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