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39μm双波长拍波干涉仪绝对测量大直径方法的研究[J]. 冯其波,梁晋文.中国激光. 1994(11)
双纵模激光拍频干涉仪的研究
被引：16
作者：
周肇飞
张涛
朱目成
尹伯彪
机构：
[1] 四川大学激光应用技术研究所
[2] 四川大学激光应用技术研究所 四川成都
[3] 四川成都
来源：
关键词：
仪器;
大尺寸测量;
双纵模激光;
激光拍频干涉仪;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH744.3 [];
学科分类号：
0803 ;
摘要：
介绍了一种可对大尺寸工件进行无导轨精密测量的系统。以有高稳定性和强抗干扰能力(室外可达10-7 的双纵模热稳频He Ne激光器为光源,其拍频约为790MHz,拍频波长约376μm;以节点为对准标志,最邻近节 到被测点的间距用组合于同一光路中的分系统激光干涉仪测量,分辨率为0.08μm。采用自适应滤波和小波运 大幅度地降低了光电信号噪声,并强化波形。测试表明,测量的不确定度优于30μm/10m,整个测量系统可在0 20m范围内工作。
引用
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