微驱动器的原理与应用

被引：10

作者：

宫峰飞

机构：

[1] 华东师范大学物理系上海

来源：

电子元件与材料 | 2003年 / 06期

关键词：

微驱动器; 微型机电系统; 驱动原理; 驱动方式; 加工技术;

D O I：

10.14106/j.cnki.1001-2028.2003.06.012

中图分类号：

TM921.3 [微型电力传动系统];

学科分类号：

080804 ;

摘要：

为了优化设计微驱动器,笔者通过对比近年来各种微驱动器的研究和发展,系统地概括总结了微驱动器所采用的主要的驱动原理、驱动方式和加工技术及其存在的优缺点等。并在此基础上,首次将微驱动器按功能进行了分类。

引用

页码：33 / 36

页数：4

共 5 条

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