基于光刻技术微小型电极的制作

被引：1

作者：

周耀华

王西彬

崔芳

贾玉萍

机构：

[1] 北京理工大学机械与车辆工程学院

[2] 北京理工大学机械与车辆工程学院北京

[3] 北京

来源：

关键词：

微小型电极; 电火花加工; 光刻;

D O I：

暂无

中图分类号：

TG66 [特种加工机床及其加工];

学科分类号：

080201 ;

摘要：

针对微细电火花加工中面临的微小型复杂电极制作难的问题,提出了一种基于光刻技术微小型电极的制作方法,其宽度为0.15mm,间隙0.20mm,厚度为6～10μm,适合于加工小型复杂的零件。文中在电火花成型电极制作方面作出了积极的探索。

引用

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页数：2

共 5 条

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张院春 .

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