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在线检测超精细表面微观形貌的激光轮廓仪
被引：6
作者：
周肇飞
张涛
周卫东
李文杰
机构：
[1] 四川大学激光应用技术研究所!四川成都
来源：
关键词：
激光轮廓仪;
实时测量;
表面测量;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH744 [物理光学仪器];
学科分类号：
0803 ;
摘要：
介绍一种可用于在线和在位检测的高分辨力激光轮廓仪。此仪器具有很高的共模抑制比和同类型仪器中最小的形状误差。分辨力优于 0 .2 nm( Ra)。可以摆放在金刚石车床的刀架上测量超精密加工表面微观形貌
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