基于过程免疫时间的半导体企业电压暂降经济损失预评估方法

电压暂降已成为最严重的电能质量问题,给用户带来了极大的经济损失。国内外目前针对半导体企业电压暂降经济损失预评估的研究较少,为此本文提出一种基于过程免疫时间的实用评估方法。首先,以液晶屏面板为研究对象,应用故障树分析法对半导体复杂的生产过程进行分解以确定关键设备的逻辑连接关系;其次,结合实测的设备过程免疫时间和逻辑连接关系推算生产过程的综合过程免疫时间;再次,依据历史电压暂降监测数据和综合过程免疫时间预测生产过程中断次数;最后,结合生产过程中断次数和单次中断经济损失预估用户总经济损失值。实例分析结果验证了所提方法符合工程实际,具备可行性,对新投建的半导体生产线选择电压暂降治理方案、制定生产计划具有参考意义。