基于空间光调制器的灰度掩模制作系统

被引：10

作者：

颜树华

戴一帆

吕海宝

李圣怡

机构：

[1] 国防科技大学机电工程与自动化学院

来源：

关键词：

光电子学; 灰度掩模; 空间光调制器; 二元光学;

D O I：

暂无

中图分类号：

O439 [应用光学];

学科分类号：

摘要：

提出了基于空间光调制器的灰度掩模制作新方法。分析了该方法的基本原理 ,构造了相应的实验系统。同时制作了闪耀光栅、菲涅耳透镜以及Dammann光栅等二元光学器件的灰度掩模。该方法采用逐个图形曝光的方式使其具有内在的并行特性 ,可大大提高灰度掩模的制作速度和精度 ,并降低生产成本

引用

页码：45 / 47

页数：3