高精度硅压阻式气压传感器系统设计

被引：10

作者：

周晓宇 ^{[1
,2
]}

张萌颖 ^{[1
,2
]}

杜利东 ^{[1
]}

赵湛 ^{[1
]}

机构：

[1] 中国科学院电子学研究所传感器技术联合国家重点实验室

[2] 中国科学院大学

来源：

传感器与微系统 | 2017年 / 36卷 / 04期

关键词：

硅压阻式气压传感器; 芯片加热; PID控制; 温度补偿;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

为了消除环境温度对硅压阻式传感器输出的影响,大幅提升硅压阻式传感器的测量精度,将传感器芯片与热源和测温原件封装在一起,通过控制加热的方式使传感器工作在恒定50℃的环境中,对传感器进行线性标定和测试。结果显示:在-45～45℃环境下,600～1 100 h Pa量程内气压传感器的测量误差小于0.3 h Pa。

引用

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共 7 条

[1] 数字气压传感器的一种高效标定和补偿方法 [J].