测量大型机件的精密测距仪

被引：5

作者：

赵武

张涛

周肇飞

黄伟

尹伯彪

机构：

[1] 四川大学激光应用技术研究所

来源：

四川大学学报(工程科学版) | 2006年 / 05期

关键词：

大尺寸测量; 拍频干涉; 精密测距仪; 节点;

D O I：

10.15961/j.jsuese.2006.05.026

中图分类号：

TH761.2 [];

学科分类号：

摘要：

一种采用激光拍频干涉原理,测量大尺寸机械零件或构件的高精度测距仪系统已研制成功。它的特点是用双纵模He-Ne激光为光源,无需任何参考频率标准,稳频精度在室外有风的环境下优于1×10-7。两个纵模的激光出自同一谐振腔,因而自然同轴,其拍频约为790 MHz,拍波长约380 mm。此系统以节点为对准标志,最临近节点到被测点的间距用组合于同一光路中的分系统干涉仪测量,干涉仪分辨率为0.08。无需长导轨或任何重型机械构件,测量范围0～20 m。采用自适应滤波和小波分析,消除噪声、锐化波形,使测量的不确定度30μm/10 m。

引用

页码：152 / 155

页数：4

共 7 条

[1]

Laser profilingsystem for on-line m easurem ent of superfine surfaces. Zhou Zhaofe i,Zhang Tao,Zhou W e idong. Applied Optics . 2002

[2]

Phase m easurem ent,tractab ility and verifica-tion theory and practice. C larke K K. IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement . 1990

[3]

M easurem ent of large internal d iam e-ters based on dual-wavelength heterodyne interferom eter. L i B in,L iang Jinwen. Prec ision Engineering . 1997

[4]

Tunable, Double-Wavelength Heterodyne Detection Interferometer for Absolute-Distance Measurement. E. Gelmini,U. Minoni,F. Docchio. Optics Letters . 1994

[5] 双纵模激光作无导轨大尺寸精密测量 [J].

周肇飞 ;

吴斌 ;

张涛 .

光电工程, 1996, (04) :51-56

[6]

Phaseshiftinginterferometry:referencephaseerrorreduction. SchwiderJ. Applied Optics . 1989

[7]

＂Integrated optoelectric sensor for measurement of displacement and profile,＂. Zhao-fei Zhou,,Tao Zhang,and Wei Huang. Optical Engineering . 2002

← 1 →