超光滑表面及其制造技术的发展

被引：44

作者：

高宏刚

曹健林

朱镛

陈创天

机构：

[1] 中国科学院北京人工晶体研究发展中心!北京

[2] 中国科学院应用光学国家重点实验室!长春

来源：

物理 | 2000年 / 10期

关键词：

超精密加工; 超光滑表面; 抛光; 粗糙度;

D O I：

暂无

中图分类号：

O439 [应用光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

超光滑表面制造技术是超精密加工技术的一个重要分支 .通过介绍超光滑表面的特征、应用及其制造技术的发展 ,希望给出超光滑表面技术的整体轮廓 .在介绍超光滑表面的概念及其主要特征的基础上 ,通过典型例证指出了超光滑表面在软X射线光学、激光陀螺等科技领域的重要应用 .回顾了超光滑表面制造技术的发展过程 ,对各种超光滑表面加工原理与方法进行了简单描述与评价 ,最后提出了对超光滑表面制造技术的发展趋势的观点 .

引用

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