共 1 条
[1]
悬臂梁微尖端器件的制备与应用研究进展
被引：1
作者：
焦斌斌
陈大鹏
叶甜春
欧毅
董立军
杨清华
机构：
[1] 中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室
[2] 中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室 北京
[3] 北京
来源：
关键词：
~~;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN40 [一般性问题];
学科分类号：
140101 [集成纳电子科学];
摘要：
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