齐次坐标变换的测量机误差修正模型

被引:4
作者
陈宝刚 [1 ]
费业泰 [2 ]
机构
[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
[2] 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
关键词
齐次坐标变换; 坐标测量机; 误差建模; 21项几何误差;
D O I
暂无
中图分类号
TH721 [坐标器和自动坐标器];
学科分类号
摘要
为提高结晶器坐标测量机的测量精度,运用齐次坐标变换矩阵,建立测量机测头中心相对于底座参考坐标系的测量模型,并进行误差修正。实验结果表明,该测量模型可以综合修正21项几何误差,使测量机测量精度提高30%40%。该研究以误差补偿来提高测量精度,使测量精度由注重零部件的制造转向系统稳定性的高精度检测。
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