微型光谱仪的发展现状

被引：37

作者：

鞠挥

吴一辉

不详

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

[2] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春

[3] 吉林长春

来源：

关键词：

微光电机械系统; 光学纤维; 光谱仪;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744.1 [];

学科分类号：

摘要：

光谱仪是种类繁多、应用极为广泛的一种理化分析仪器，微加工技术的发展和ＭＥＭＳ（微机电系统）、ＭＯＥＭＳ（微光机电系统）技术的出现为其微小型化提供了可能性，本文着重就采用新型滤光技术的微型光谱仪、利用光纤制作的微型光谱仪以及集成式光谱仪进行介绍。光谱仪的微小型化是我国微型仪器的一个重要发展方向。

引用

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