微型光谱仪的发展现状

被引:37
作者
鞠挥
吴一辉
不详
机构
[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
[2] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 吉林长春
[3] 吉林长春
关键词
微光电机械系统; 光学纤维; 光谱仪;
D O I
暂无
中图分类号
TH744.1 [];
学科分类号
摘要
光谱仪是种类繁多、应用极为广泛的一种理化分析仪器,微加工技术的发展和MEMS(微机电系统)、MOEMS(微光机电系统)技术的出现为其微小型化提供了可能性,本文着重就采用新型滤光技术的微型光谱仪、利用光纤制作的微型光谱仪以及集成式光谱仪进行介绍。光谱仪的微小型化是我国微型仪器的一个重要发展方向。
引用
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