微机械谐振传感器的闭环恒幅驱动电路研究

被引：11

作者：

王亚强

王跃林

丁纯

喻浩

机构：

[1] 浙江大学信息与电子工程系!杭州,上海冶金研究所!传感技术国家重点实验室上海,浙江大学信息与电子工程系!杭州,浙江大学信息与电子工程系!杭州

来源：

关键词：

微机械谐振传感器; 闭环恒幅驱动; 静电激励微谐振式真空传感器; 双框架微谐振式陀螺;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.1999.04.006

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

本文分析了微机械谐振传感器的闭环工作特性，在此基础上研究了微机械谐振传感器的闭环恒幅驱动电路的设计原则，研制出闭环恒幅驱动电路，并在微谐振式真空传感器和双框架微谐振陀螺上得到应用。

引用

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