面向IC封装的显微视觉定位系统

被引：19

作者：

李君兰 ^{[1
]}

张大卫 ^{[1
]}

王以忠 ^{[2
]}

赵兴玉 ^{[1
]}

孔凡芝 ^{[2
]}

机构：

[1] 天津大学机械工程学院

[2] 天津科技大学电子信息与自动化学院

来源：

光学精密工程 | 2010年 / 18卷 / 04期

关键词：

IC封装; 视觉定位; 显微视觉; 系统标定; 模板匹配;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH742 [显微镜];

学科分类号：

摘要：

为了实现IC封装设备视觉定位系统的整体构建,在分析面向IC封装的视觉系统的基础上,对显微成像系统、视觉系统标定以及模式识别定位算法进行了研究。针对面向IC封装的视觉定位系统的特点,搭建视觉系统,并进行了系统标定。用Matlab编写了模式识别定位软件界面,并进行了相关试验研究。实验分析了系统的定位精度和稳定性,实验结果表明,标定误差基本满足正态分布,XY方向的平均误差为0.0145和0.1065pixel,方差为0.3103和0.2775pixel。经过对视觉定位系统的标定,并使用某种IC芯片进行实际定位实验,结果显示匹配定位误差可以控制在3.5μm(0.4pixel)以内。该视觉系统实现了亚像素级的定位精度。

引用

页码：965 / 972

页数：8

共 8 条

[1]

工程光学.[M].郁道银;谈恒英主编;.机械工业出版社.2006,

[2]

模式识别.[M].边肇祺等编著;.清华大学出版社.2000,

[3] 机器视觉的薄片零件尺寸检测系统 [J].