软X射线相位型聚焦波带片的研制

被引：8

作者：

肖凯

刘颖

徐向东

付绍军

机构：

[1] 中国科学技术大学国家同步辐射实验室

来源：

关键词：

X射线光学; 相位型波带片; 镍,锗; 同步辐射光刻; 离子束刻蚀;

D O I：

暂无

中图分类号：

O434.1 [X射线];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

软X射线波带片是软X射线光学中聚焦、色散和成像的重要元件。以激光全息离子束刻蚀技术制作金的振幅型软X射线聚焦波带片,以此为掩模,利用接触式同步辐射光刻和离子束刻蚀技术在聚酰亚胺衬底上,分别制作出了镍和锗的软X射线相位型聚焦波带片。

引用

页码：1722 / 1723

页数：2

共 4 条

[1] 同轴软X射线全息成像及其数字重现 [J].

张玉煊 ;

蒋诗平 ;

付绍军 ;

张新夷 ;

陈敏 ;

陈建文 ;

徐至展 .

[2] 水窗波段同轴X射线全息成像及其数字重现 [J].

蒋诗平 ;

付绍军 ;

张新夷 ;

陈建文 ;

徐至展 ;

陈敏 .

[3] 软X射线聚焦波带片制备工艺的研究 [J].

傅绍军，洪义麟，陶晓明，苏永刚 .

[4]

X-ray microscopy: methods and perspectives[J] . Gerd Schneider.Analytical and Bioanalytical Chemistry . 2003 (5)