二元光栅照明研究

被引：3

作者：

罗先刚

陈旭南

姚汉民

冯伯儒

机构：

[1] 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室

来源：

光电工程 | 1998年 / 06期

关键词：

分辨率，焦深，二元光栅，照明，光刻;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN305.7 [光刻、掩膜];

学科分类号：

1401 ;

摘要：

采用部分相干成象理论对二元光栅照明进行了较为详细的研究。分析了二元光栅照明对分辨力、焦深、照明能量和照明均匀性的影响，并通过实验研究验证了二元光栅对分辨力和焦深有较大程度的提高，同时能量损失不大

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页数：5

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共 1 条

[1] 提高亚半微米微细图形光刻分辨力的新技术(Ⅰ) [J].

罗先刚 ;

陈旭南 ;

姚汉民 .

物理, 1998, (04) :28-31