基于柔性铰链结构的新型双向微动工作台的研究

被引：10

作者：

高鹏

袁哲俊

姚英学

机构：

[1] 北京航空航天大学,哈尔滨工业大学

来源：

关键词：

柔性铰链; 北京航空航天大学; 点支承; 北航; 微动工作台;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.1998.02.017

中图分类号：

TH131.7, [];

学科分类号：

摘要：

基于柔性铰链结构的新型双向微动工作台的研究＊高鹏（北京航空航天大学北京１０００８３）袁哲俊姚英学（哈尔滨工业大学哈尔滨１５０００１）０引言以柔性铰链为导向机构的超高精度微动工作台已被广泛用于能束加工、超精密检测、微操作系统等要求具有纳米级定位分辨率的...

引用

页码：80 / 83

页数：4