非制冷型热释电薄膜红外探测器的制备及应用

被引:2
作者
刘少波
李艳秋
机构
[1] 中国科学院电工研究所微纳电加工部
基金
国家自然科学基金重大研究计划;
关键词
热释电; 薄膜; 非制冷红外探测器;
D O I
暂无
中图分类号
TN215 [红外探测、红外探测器];
学科分类号
摘要
介绍了室温非制冷型热释电薄膜红外探测器的原理和优势。从热释电材料的选择及器件的结构设计等方面阐述了热释电薄膜红外探测器的制备技术和研究动向,并归纳了器件的主要应用领域。
引用
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