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硅各向异性腐蚀中自动终止技术的研究
被引：5
作者：
李跃进
朱作云
纪强
机构：
[1] 西安电子科技大学微电子研究所
来源：
关键词：
各向异性;
腐蚀速率;
杂质浓度;
硼;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
本文就 P+重掺杂硼扩散自动终止腐蚀技术进行了研究,得到了腐蚀速率比随杂质浓度变化的曲线。并用氧化-还原反应理论对实验结果进行了解释。
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