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三维形貌检测中自动参考栅技术的改进
被引：1
作者：
周灿林
亢一澜
机构：
[1] 天津大学力学系
来源：
关键词：
形貌检测;
傅里叶变换;
相位分布;
变形光栅;
迭代法;
D O I：
10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2004.05.024
中图分类号：
O439 [应用光学];
学科分类号：
摘要：
通过对形貌检测中理论参考面相位分布规律的分析 ,对三维形貌轮廓术中参考面相位自动生成技术进行了研究。利用采集的待测物体栅线图样中未变形区域对应相位信息 ,通过最小二乘迭代法数据拟合 ,获得理想参考面相位分布参数 ,也就是获得理想参考面上的相位分布。由于不需另外采集实物参考面变形光栅图像 ,不仅减少了实物参考面的采集步骤 ,而且不需要对实物参考面相位进行求解 ,这样就可以真正实现只采集一幅图像解调形貌 ,从而提高测试速度 ,同时还可避免由于采用实物参考面而存在的误差 ,使得求解兼有理想参考面方法与实物参考面方法的优点。利用改进的方法对塑胶小熊猫面具进行了实际测量 ,给出了测试结果
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