ZnO:Al绒面透明导电薄膜的制备及分析

被引：9

作者：

薛俊明 ^{[1
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黄宇 ^{[1
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熊强 ^{[3
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马铁华 ^{[4
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孙建 ^{[1
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赵颖 ^{[1
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耿新华 ^{[1
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机构：

[1] 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所&天津市重点实验室

[2] 光电信息技术科学教育部重点实验室

[3] 河北省信息产业厅唐山无线电管理分局

[4] 仪器科学与动态测试教育部重点实验室

来源：

太阳能学报 | 2007年 / 07期

关键词：

中频脉冲磁控溅射; ZnO:Al(ZAO)薄膜; 绒面结构;

D O I：

暂无

中图分类号：

TM24 [导电材料及其制品];

学科分类号：

0805 ; 080502 ; 080801 ;

摘要：

利用中频脉冲磁控溅射方法,采用Al掺杂(质量百分比2%)的Zn(纯度99.99%)金属材料为靶材制备平面透明导电ZnO:Al(ZAO)薄膜。利用湿法腐蚀方法,将平面ZAO薄膜在0.5%的稀盐酸中浸泡一定时间后,形成表面凹凸起伏的绒面结构。研究了平面ZAO薄膜的结构特性以及衬底温度、溅射功率和腐蚀时间对绒面ZAO薄膜表面形貌的影响,并对腐蚀前后薄膜的电阻变化进行了分析。结果表明:高温、低功率条件下制备的绒面ZAO薄膜表面形貌较好,在硅薄膜太阳电池中具有潜在的应用前景。

引用

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