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基于混沌粒子群算法的单台批加工设备调度
被引:1
作者
:
论文数:
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机构:
吕铁鑫
尹文生
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机构:
清华大学精密仪器与机械学系
尹文生
朱煜
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机构:
清华大学精密仪器与机械学系
朱煜
机构
:
[1]
清华大学精密仪器与机械学系
来源
:
机电一体化
|
2011年
/ 17卷
/ 03期
关键词
:
批调度;
单台批加工设备;
混沌粒子群算法;
半导体生产线;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TN305 [半导体器件制造工艺及设备];
TP18 [人工智能理论];
学科分类号
:
1401 ;
081104 ;
0812 ;
0835 ;
1405 ;
摘要
:
提出了一种基于混沌粒子群算法的双层调度方法。双层调度的外层基于加工时间最小的目标构建组批方法集,然后将其作为内层算法的搜索空间;双层调度的内层以加工时间最小为适应值函数,采用混沌粒子群算法求解批次排序的最优解,得到最优的组批方法及其排序。通过仿真验证了该算法在搜索时间和搜索精度的可行性。
引用
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页码:63 / 66+70 +70
页数:5
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