TiO2掺杂α-Fe2O3薄膜的制备与气敏性能

以钛酸丁酯和二茂铁为源物质,用氧气做氧化剂,采用等离子体化学气相沉积的方法,合成了具有良好气敏性能的TiO2掺杂α-Fe2O3薄膜。采用SEM,XRD、DTG、IR、XPS和XRF等方法对薄膜的结构和成份进行了分析和观察。气敏测试的结果表明,TiO2掺杂有助干提高α-Fe2O3薄膜的气敏选择性和气体灵敏度,并降低其工作温度。