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激光功率变化引起的非线性误差对纳米测量精度的影响
被引:2
作者:
许婕,徐毅,李成阳
机构:
[1] 中国计量科学研究院
来源:
关键词:
干涉仪,拍频测量,频率位移;
D O I:
暂无
中图分类号:
TH744.5 [];
学科分类号:
摘要:
拍频干涉法可用于纳米、亚纳米级精度的位移测量,其测量不确定度主要取决于单位频差─—位移当量的非线性。本文对影响非线性的因素进行了试验分析和理论计算,结果表明,非线性范围为0.07~1.5nm。
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