激光功率变化引起的非线性误差对纳米测量精度的影响

被引:2
作者
许婕,徐毅,李成阳
机构
[1] 中国计量科学研究院
关键词
干涉仪,拍频测量,频率位移;
D O I
暂无
中图分类号
TH744.5 [];
学科分类号
摘要
拍频干涉法可用于纳米、亚纳米级精度的位移测量,其测量不确定度主要取决于单位频差─—位移当量的非线性。本文对影响非线性的因素进行了试验分析和理论计算,结果表明,非线性范围为0.07~1.5nm。
引用
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共 1 条
[1]   高精度微位移差拍激光干涉仪 [J].
徐毅 ;
叶孝佑 ;
李成阳 ;
邹玲丁 ;
许婕 ;
高峰 .
计量学报, 1990, (01) :32-35