一种新的Mems变形反射镜主要性能参数测试

被引：1

作者：

刘喜斌 ^{[1
]}

余洪斌 ^{[2
]}

方迪 ^{[2
]}

机构：

[1] 湖南理工学院物电系

[2] 华中科技大学光电子工程系

来源：

湖南理工学院学报(自然科学版) | 2006年 / 02期

关键词：

Mems变形反射镜; 静态响应曲线; 影响函数;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH741 [光学计量仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

通过对37单元Mems变形镜面形的测量得到了变形镜的电压-位移静态曲线。通过对自适应光学微变形反射镜理论研究推导和实验测试,导出了变形反射镜光学影响函数的矩阵并由此得到电压控制矩阵,从而利用控制电压校正了变形镜的初始面形,为系统波前畸变校正提供了与理论相一致的实验依据。对变形镜校正能力进行了测评,为今后全面优化设计微变形反射镜及其更完美的适应自适应光学系统的需要提供了实验数据与理论支持。

引用

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