微硅狭缝紫外-可见光谱仪杂散光的产生与抑制

采用MEMS技术,研制了一种基于微硅狭缝的紫外-可见光谱仪。介绍了该光谱仪的系统组成,分析了其杂散光的产生原因,着重讨论了光谱仪的关键部件-微硅狭缝的直线度、厚度与杂散光之间的关系,并对狭缝直线度产生的杂散光进行了实验验证。针对以卤钨灯为光源的紫外-可见光谱仪进行测量时,紫外部分能量低,杂散光严重的问题,提出一种组合滤光片法,通过在入射狭缝前和探测器前增加双重滤光片,平衡紫外-可见光范围内各谱段的光波强度,抑制紫外波长处杂散光的影响。实验结果表明:采用组合滤光片法抑制杂散光后,杂散光降低为抑制前的23%。