从晶体取向特点探讨ZnO薄膜的晶体不完整性

被引：6

作者：

侯长民 ^{[1
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黄科科 ^{[1
]}

高忠民 ^{[1
]}

马艳 ^{[2
]}

杜国同 ^{[2
]}

李向山 ^{[1
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冯守华 ^{[1
]}

机构：

[1] 吉林大学无机合成与制备化学国家重点实验室化学学院

[2] 吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点实验室

来源：

高等学校化学学报 | 2006年 / 05期

关键词：

氧化锌薄膜; 晶体取向; 取向柱状多晶体;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484.1 [薄膜的生长、结构和外延];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

用MOCVD法在蓝宝石衬底上得到了ZnO（0002）膜,并用XRD和SEM进行了表征.结果表明,薄膜中沿[0001]择优取向生长的柱状晶垂直于衬底表面,晶柱之间存在着边界和间隙.X射线Ф扫描实验结果表明,晶柱之间的取向偏差在3°30°之间.X射线ω摇摆曲线和谱线宽度分析结果表明,薄膜中的晶柱是由多个晶粒堆叠而成,且晶粒之间的平均取向偏差也在2.6°以上.实验结果表明,ZnO大失配度异质外延膜是c轴[0001]取向柱状多晶体,ZnO薄膜的结晶不完整性主要是由其柱状晶结构造成的.

引用

页码：805 / 807

页数：3

共 3 条

[1] 声表面波器件用〈110〉取向ZnO薄膜的MOCVD生长 [J].

赵佰军 ;

杜国同 ;

王金忠 ;

杨洪军 ;

张源涛 ;

杨小天 ;

马艳 ;

刘博阳 ;

杨天鹏 ;

刘大力 .

高等学校化学学报, 2003, (10) :1750-1752

[2] 等离子体增强MOCVD法生长ZnO薄膜 [J].

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杨树人 ;

王金忠 ;

李献杰 ;

殷景志 ;

姜秀英 ;

杜国同 ;

杨如森 ;

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高等学校化学学报, 2002, (05) :927-931

[3] 用X射线线形精炼法分析纳米晶体的微观结构 [J].

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吉林大学自然科学学报, 2001, (01) :78-80

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