飞秒激光烧蚀玻璃基质金属薄膜直写衍射光栅

被引：5

作者：

胡晓

赵全忠

姜雄伟

邱建荣

朱从善

机构：

[1] 中国科学院上海光学精密机械研究所

来源：

中国激光 | 2006年 / 01期

基金：

中国博士后科学基金;

关键词：

激光技术; 飞秒激光; 光栅; 衍射效率; 烧蚀;

D O I：

暂无

中图分类号：

O436.1 [干涉与衍射];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

提出了一种新的制备光栅的方法,利用800 nm的飞秒激光扫描蒸镀在石英玻璃衬底表面的金薄膜,通过烧蚀金薄膜在衬底表面形成衍射光栅。用波长为532 nm的激光照射光栅,测量其一级衍射效率,测得的衍射效率最高为6.98%。通过改变激光扫描速度、激光功率、光栅周期等实验参数研究其对制备的光栅的一级衍射效率的影响,结果表明,降低激光扫描速度,减小光栅周期,或增加激光功率都能提高制备光栅的一级衍射效率。

引用

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