微/纳米定位平台的动态特性分析与试验

被引：12

作者：

林超

俞松松

程凯

崔新辉

陶友淘

王静超

机构：

[1] 重庆大学机械传动国家重点实验室

来源：

浙江大学学报(工学版) | 2012年 / 46卷 / 08期

关键词：

微/纳米定位平台; 柔性机构; 压电陶瓷驱动器; 动态特性;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH703 [结构];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

为了分析微/纳传动平台的动态特性,应用拉格朗日方程,建立5自由度微/纳米定位平台的动力学模型,推导出固有频率及阶跃响应的解析式.采用有限元方法,仿真得到平台的前5阶固有频率和模态阵型.在不同驱动频率和不同加载下,分别进行静、动态试验,结果表明,平台的开环调节时间为0.812s;驱动频率为100Hz时,发生共振现象;加载小于10N时,平台具有较好的稳定性;动态试验得到压电陶瓷、电容传感器和平台的分辨率分别为4、10和45nm,且平台的重复定位精度为0.6μm.

引用

页码：1375 / 1381+1396 +1396

页数：8

共 6 条

[1] 2自由度大行程微定位平台结构与参数设计 [J].