脉冲激光对类金刚石(DLC)薄膜的热冲击效应研究

被引：9

作者：

牛燕雄

黄峰

段晓峰

汪岳峰

张鹏

何琛娟

禹晔

姚建铨

机构：

[1] 解放军军械工程学院光学与电子工程系

[2] 中国科学院物理研究所光物理实验室

[3] 天津大学精密机械与光电子工程学院

[4] 光电信息技术科学教育部重点实验室石家庄

[5] 光电信息技术科学教育部重点实验室

[6] 天津

[7] 北京

[8] 石家庄

来源：

物理学报 | 2005年 / 10期

关键词：

激光辐照; 类金刚石(DLC)薄膜; 热冲击效应;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484 [薄膜物理学];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

强激光辐照红外热像系统时,可造成系统的干扰和破坏,激光的波长不同,对系统的破坏效果也不同.为了保护红外系统窗口以及提高窗口的透过率,红外窗口广泛沉淀类金刚石(DLC)薄膜.当入射的激光波长位于红外系统响应波段外时,激光对系统的破坏首先是激光对DLC薄膜的破坏.以波长为1·06μm的激光为例,研究了脉冲激光对DLC薄膜的损伤机理,建立了DLC薄膜的热冲击效应模型,并通过求解热传导和应力平衡方程,得出了薄膜的温度场和应力场分布.理论分析表明,热应力破坏在脉冲强激光对DLC膜的损伤机理中占主导地位.当辐照能量密度为E0=100mJ·cm-2时,在薄膜表面距光斑中心约40μm区域内的压应力明显超出其断裂强度,将造成膜层的剥离、脱落.理论分析与实验结果基本相符,表明建立热冲击效应模型的正确性.

引用

页码：4816 / 4821

页数：6

共 6 条

[1] 丙酮环境下ECR微波等离子体辅助化学气相沉积类金刚石薄膜研究 [J].