大口径非球面Ronchi光栅测量方法

在对非球面加工过程中常用检测方法的优缺点进行比较的基础上,介绍了Ronchi光栅法的系统组成、工作原理和数据处理方法,并进行了光栅频率和灵敏度分析。通过对Ronchi光栅的频率、灵敏度的分析比较,发现可以通过改变其频率来实现大口径非球面不同加工阶段2～200μm范围内的误差检测。该方法制作简单,使用方便。它的深入研究,将为大口径非球面精磨和初抛光阶段提供一种有效、可靠的定量检测手段。