相位测量轮廓术中探测器非线性误差的分析

被引：9

作者：

周利兵

苏显渝

王立无

机构：

[1] 四川大学光电系

[2] 四川大学光电系成都

[3] 成都

来源：

关键词：

相位测量轮廓术; 相移算法; 非线性误差分析;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP274.5 [];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 080402 ; 081002 ; 0835 ;

摘要：

在相位测量轮廓术 (PMP)中 ,探测器的非线性响应是导致测量误差的重要因素 ,本文对该误差进行了理论分析和计算机模拟 ,比较了各种相移算法对这一误差的抑制能力 ,数值模拟与理论分析的结果一致。本文可为实际应用中合理地选择算法提供理论依据。

引用

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