压阻式压力传感器零点输出研究

被引：4

作者：

李晶晶

岳瑞峰

刘理天

机构：

[1] 清华大学微电子所

[2] 清华大学微电子所北京

[3] 北京

来源：

关键词：

压力传感器; 压阻效应; 零点输出; 硅;

D O I：

10.13873/j.1000-97872002.07.003

中图分类号：

TP212.1 [物理传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

使用有限元方法 ,分析了压力传感器力敏电阻条工作时的自身发热对传感器零点输出的影响 ,结果表明 :由于电阻工作时的发热引起传感器温度分布的不均匀 ,即便组成压力传感器电桥的力敏电阻条参数完全匹配 ,传感器也可能存在零点输出。

引用

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