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- [2] 压电陶瓷.[M].[美]贾菲(B·Jaffe)等 著;林声和 译.科学出版社.1979,
压电陶瓷用于纳米定位系统的研究
被引：11
作者：
王建林
胡小唐
杨勇
张国君
机构：
[1] 天津大学精密仪器与光电子工程学院
来源：
关键词：
压电陶瓷;
柔性铰链;
纳米定位;
闭环数字控制系统;
D O I：
暂无
中图分类号：
TG75 [夹具];
学科分类号：
摘要：
压电陶瓷PZT用于纳米定位系统的研究，给出了一种二维纳米定位机构和有效消除压电陶瓷压电误差的方法，设计了闭环数字控制系统．实验表明：该定位系统行程10μm,定位精度10nm，定位分辨率达2nm．
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