复合光源实时微振动干涉测量仪

被引：5

作者：

李代林

王向朝

王学锋

郭立萍

刘英明

机构：

[1] 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学研究实验室

[2] 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学研究实验室上海

[3] 上海

来源：

中国激光 | 2004年 / 03期

关键词：

测绘仪器; 实时测量; 微振动; 干涉仪;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744.3 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

提出了一种新的实时微振动激光干涉测量仪。通过采用复合光源和反馈系统 ,有效地消除了激光二极管正弦相位调制 (LD SPM )干涉仪中由电流调制所带来的测量误差和外界干扰所带来的影响 ,实现了物体微振动的纳米精度实时测量

引用

页码：350 / 353

页数：4

共 4 条

[1] 采用同步相位检测的微小振动实时测量 [J].

宋松 ;

王向朝 ;

王学锋 ;

钱锋 ;

陈高庭 .

中国激光, 2001, (08) :753-756

[2] 半导体激光微小振动实时干涉测量仪 [J].

宋松 ;

王向朝 ;

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光学学报, 2001, (05) :578-580

[3] 半导体激光器光强光热调制特性的研究 [J].

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王向朝 ;

王学锋 ;

钱锋 ;

宋松 ;

陈高庭 ;

方祖捷 .

中国激光, 2000, (11) :969-972

[4] 光热调制半导体激光波长降低干涉测量误差 [J].

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光电工程, 1999, (05) :1-3

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