表面等离子体激元共振溶胶凝胶薄膜传感器

被引：9

作者：

顾铮天

冯仕猛

梁培辉

张伟清

机构：

[1] 中国科学院上海光学精密机械研究所!上海险恶,中国科学院上海光学精密机械研究所!上海险恶,中国科学院上海光学精密机械研究所!上海险恶,中国科学院上海光学精密机械研究所!上海险恶

来源：

光学学报 | 2001年 / 01期

关键词：

表面等离子体激元共振; 溶胶凝胶; 薄膜传感器; 光学参数;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

采用溶胶凝胶金属氧化物半导体薄膜 ,作为表面等离子体激元共振效应的光化学传感器的传感介质。分析了金属Ag膜与传感薄膜的光学参数对传感器灵敏度的影响。通过在金属层与传感层之间优化设计中间层 ,进一步提高了传感器灵敏度。选择SnO2 薄膜及SiO2 薄膜作为传感层与中间层 ,对三种气体NH3、C2 H5 OH、C3H8进行气敏实验 ,结果表明结构优化的传感器具有更高的灵敏度。

引用

页码：83 / 87

页数：5

共 4 条

[1] 基于p偏振光双面反射的薄膜传感器光学参数的优化 [J].

顾铮先 ;

梁培辉 ;

刘晓林 ;

张伟清 .

光学学报, 1999, (11) :1556-1562

[2] 氨处理溶胶-凝胶SnO2薄膜的光学性质 [J].

刘晓林 ;

梁培辉 ;

张伟清 ;

顾铮先 ;

李毛和 .

光学学报, 1999, (04) :93-96

[3]

Sol-Gel Coatings on Metals[J] . Massimo Guglielmi.Journal of Sol-Gel Science and Technology . 1997 (1)

[4]

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