硅压阻式压力传感器温度系数的在线实时补偿

被引:1
作者
刘君华
张重斌
朱长纯
机构
[1] 西安交通大学
关键词
传感器; 灵敏度; 零位; 温度系数; 补偿;
D O I
暂无
中图分类号
学科分类号
摘要
在硅压阻式压力传感器与微机组成的数据采集系统中,利用软件编程很容易使传感器灵敏度及零位温度系数达到10-5/℃数量级。文章分析了各种影响补偿精度的因素,除外部因素外,补偿精度受限于传感器本身的重复性及迟滞。此法简便易行,不需其他附加硬件的帮助。
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