CoFeB/MgO不连续多层纳米软磁薄膜微波电磁特性

被引：4

作者：

马强

江建军

别少伟

杜刚

冯则坤

何华辉

机构：

[1] 华中科技大学电子科学与技术系

来源：

物理学报 | 2008年 / 10期

关键词：

纳米磁性颗粒膜; 磁导率频谱; 电磁性能; 吸波材料;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484.4 [薄膜的性质];

学科分类号：

摘要：

采用直流/射频磁控溅射方法和不连续多层交替沉积工艺,制备了CoFeB/MgO系列纳米不连续多层薄膜,研究了微波频段下的电磁性能.结果表明,通过调整CoFeB合金相和MgO介质相的相对含量可有效调控薄膜的微结构和电磁性能,且在[Co64Fe24B12(0.7 nm)/MgO(0.4 nm)]40薄膜中获得了优良的微波软磁性能和高电阻率,其饱和磁化强度1.3 T,难轴矫顽力130 A/m,电阻率3.4 mΩ.cm,且共振频率高达2.1 GHz,磁导率实部μ′和虚部μ″在1.59 GHz处均高于240,并且在0.9—2 GHz宽频带范围同时大于100.该薄膜可用于微波吸收材料和电磁兼容的设计中.

引用

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