电容式微加速度计的研制

被引:4
作者
谭宜勇 [1 ]
金桐 [1 ]
苏卫国 [2 ]
赵新 [1 ]
卢桂章 [1 ]
机构
[1] 南开大学机器人与自动化研究所
[2] 北京大学微电子所
关键词
MEMS; 电容式微加速度计; 虚拟工艺; 虚拟运行;
D O I
暂无
中图分类号
TH824.4 [];
学科分类号
摘要
以一个电容式微加速度计为设计实例来介绍了基于IP库MEMS设计的流程,其中主要包括四个部分:原理分析,结构设计,工艺流程和版图设计,封装及电路测试。首先根据需求设计出加速度计的基本结构;然后对该结构进行工艺流程和版图的设计;并利用虚拟工艺来进行仿真和可加工性验证;得到的三维结构通过接口导出到FEM中进行数值分析;接着将数值分析的结果进行基于FEM的运动学建模;求解得到的运动规律,以宏模型的形式存入IP库中;与此同时,利用虚拟运行进行可视化行为级的仿真。
引用
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页数:4
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共 4 条
[1]   微机械虚拟运行的实现框架 [J].
谭宜勇 ;
赵新 ;
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