电容式微加速度计的研制

被引：4

作者：

谭宜勇 ^{[1
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金桐 ^{[1
]}

苏卫国 ^{[2
]}

赵新 ^{[1
]}

卢桂章 ^{[1
]}

机构：

[1] 南开大学机器人与自动化研究所

[2] 北京大学微电子所

来源：

传感技术学报 | 2008年 / 04期

关键词：

MEMS; 电容式微加速度计; 虚拟工艺; 虚拟运行;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH824.4 [];

学科分类号：

摘要：

以一个电容式微加速度计为设计实例来介绍了基于IP库MEMS设计的流程,其中主要包括四个部分:原理分析,结构设计,工艺流程和版图设计,封装及电路测试。首先根据需求设计出加速度计的基本结构;然后对该结构进行工艺流程和版图的设计;并利用虚拟工艺来进行仿真和可加工性验证;得到的三维结构通过接口导出到FEM中进行数值分析;接着将数值分析的结果进行基于FEM的运动学建模;求解得到的运动规律,以宏模型的形式存入IP库中;与此同时,利用虚拟运行进行可视化行为级的仿真。

引用

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