微机械虚拟运行的实现框架

被引：3

作者：

谭宜勇

赵新

卢桂章

机构：

[1] 南开大学机器人与信息自动化研究所

来源：

微纳电子技术 | 2003年 / Z1期

基金：

高等学校骨干教师资助计划; 天津市自然科学基金;

关键词：

微电子机械系统; 虚拟运行; 动态运行规律; 数学库; 实时;

D O I：

10.13250/j.cnki.wndz.2003.z1.010

中图分类号：

TN405 [制造工艺];

学科分类号：

摘要：

简要论述了虚拟运行在MEMS设计系统[1,2 ] 中的重要性 ,引入了动态运动规律和数学库的概念 ,提出了在单机多任务系统上 ,以事件发生时间推进的机制 ,带有多个运动部件及其运动规律的微机械系统虚拟运行实现框架。并结合静电微马达和双金属驱动微流量泵为例 ,分析了虚拟运行中数学库的组织 ,动态运动规律的产生过程以及三维可视化的实时问题 ,所提出并采用的实现框架适用于微马达[3] 、微泵[4 ] 、微加速度计[5] 等微电子机械系统的设计和虚拟运行

引用

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