共 1 条
微电子机械虚拟设计系统研究
被引：1
作者：
李明
赵新
卢桂章
机构：
[1] 南开大学机器人与信息自动化研究所
来源：
基金：
高等学校骨干教师资助计划;
天津市自然科学基金;
关键词：
微电子机械;
虚拟设计;
虚拟工艺;
虚拟组装;
虚拟运行;
D O I：
10.13976/j.cnki.xk.2002.02.001
中图分类号：
TP391.9 [计算机仿真];
学科分类号：
080203 ;
摘要：
本文提出了基于虚拟现实技术的 MEMS虚拟设计系统 ,给出了 MEMS计算机辅助设计系统的解决方案 .通过这套 MEMS虚拟设计系统 ,设计人员可以观察并评测其设计的外观和功能 ,使得在实际MEMS器件制作工艺之前 ,就能获得大量的器件运行数据和修正信息 ,提高 MEMS器件设计制作的效率 ,缩短开发周期 .
引用
收藏
页码：97 / 101
页数：5
相关论文