新型Nano-CMM二维定位平台研究

被引：6

作者：

奚琳

余晓芬

范伟

机构：

[1] 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院

来源：

关键词：

纳米二维定位平台; 磁浮式; 共平面; 阿贝误差; 力平衡;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH721 [坐标器和自动坐标器];

学科分类号：

摘要：

介绍了一种新型纳米三坐标测量机二维定位平台的结构设计:平台设计了无爬行的磁浮-滑动复合导轨;引入了“共平面“的导向模式,实现近零阿贝误差;并对二维定位平台力平衡和系统热效应作了优化设计。计算和实验结果表明,平台能有效解决低速驱动时的爬行问题,实现微小步距进给,满足微纳米级定位平台的要求。

引用

页码：1605 / 1608

页数：4

共 7 条