基于旋转法的干涉仪系统误差标定

被引：6

作者：

张建锋 ^{[1
,2
]}

曹学东 ^{[1
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景洪伟 ^{[1
]}

吴时彬 ^{[1
]}

阴旭 ^{[1
]}

机构：

[1] 中国科学院光电技术研究所

[2] 中国科学院研究生院

来源：

光电工程 | 2011年 / 38卷 / 12期

关键词：

光学检测; 旋转; 干涉仪系统误差; Zernike多项式; 绝对标定;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744.3 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

针对干涉仪高精度检测的需求,本文提出了旋转法标定干涉仪系统误差,实现绝对检测,从而提高检测精度。该方法根据Zernike多项式的性质,可以通过N次平分旋转和一次旋转法两种方法实现。本文对这两种方法分别做了详细的理论推导,并且给出具体实验结果与误差分析。实验结果表明,两种方法的测量结果基本一致,差值的PV值为0.006λ,RMS值为0.001λ。误差分析结果表明,一次旋转法的旋转误差小于N次平分法,因此一次旋转法是一种精度更高的方法。

引用

页码：69 / 74

页数：6

共 7 条

[1] 旋转非对称项面形误差绝对检测的仿真分析 [J].