基于PMD的反射镜面检测实验分析

被引：13

作者：

赵文川 ^{[1
]}

范斌 ^{[1
]}

伍凡 ^{[1
]}

苏显渝 ^{[2
]}

陈文静 ^{[2
]}

机构：

[1] 中国科学院光电技术研究所

[2] 四川大学电子信息学院光电系

来源：

光学学报 | 2013年 / 33卷 / 01期

关键词：

测量; 面形测量; 非球面镜; 条纹分析;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP274 [数据处理、数据处理系统];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 080402 ; 081002 ; 0835 ;

摘要：

将相位测量偏折术应用于非球面反射镜面形检测,并对实验检测结果的中高频误差进行了分析研究。计算机产生正弦性条纹图,并且显示在薄膜场效应晶体管显示屏上。摄像机通过被测反射镜观察并拍摄显示屏上的条纹图。利用相移技术和相位展开技术计算得到相位分布。以相位信息为载体对光线进行追迹,并根据反射定律得到面形梯度分布,由数值积分重建面形分布。最后使用泽尼克多项式拟合分析了其中高频误差。

引用

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页数：4

共 6 条

[1] 基于光束法平差的相位测量偏折术镜面面形测量 [J].