数字刀口仪定量检验非球面光学元件面形

被引：11

作者：

王小鹏 ^{[1
,2
]}

朱日宏 ^{[1
]}

王雷 ^{[2
]}

许荣国 ^{[2
]}

机构：

[1] 南京理工大学电子工程与光电技术学院

[2] 西安应用光学研究所

来源：

光学学报 | 2011年 / 31卷 / 01期

关键词：

测量; 非球面光学元件; 刀口检验; 波像差;

D O I：

暂无

中图分类号：

TG80 [一般性问题];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

构建了一台数字化刀口仪,利用该数字刀口仪对二次非球面光学元件进行实际检验,获得了非球面光学元件表面面形的均方根(RMS)值和峰谷(PV)值。将数字刀口仪测量结果与干涉仪测量结果进行比较,测量结果的一致性在0.001μm以内,验证了数字刀口仪定量检测非球面光学元件的可行性以及所研究的数字刀口仪的准确性。最后对测量结果进行了讨论。

引用

页码：148 / 151

页数：4

共 9 条

[1] 使用红外干涉仪测量非球面面形 [J].